大陽日酸東関東(株)
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SF6分解ガス除去装置


 
大陽日酸東関東は、SF6分解ガス除去装置をはじめとしたSF6の循環リサイクル装置を世界に先駆けて提供しています。
SF6分解ガス除去装置
▲SF6分解ガス除去装置
特徴
SF6封入機器内で発生した分解ガスを精製し、高品質、低露点のSF6を再生します。
処理塔は、インジケータの変色により吸着剤の交換時期が管理できます。

設計仕様
除去精製ガス濃度（vol/ppm）
HF：4000→<1
SO2：1000→<1
SF4：1000→<10
SOF2：1000→<10
SO2F2：300→<10
H2O：500（-28℃)→<50（-48℃)
 
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